气体质量流量控制器M3100V/A 30SLPM-100SLPM
产品优势:
质量流量检测
无需压力和温度校正
方便型的流量控制系统
高准确度 耐高压(90bar)
响应速度快
高重复精度
技术参数：
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Model |
M3100V |
M |
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流量范围(N2) |
30slpm ~ 100slpm |
30slpm ~ 100slpm |
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响应时间 |
≤2 sec |
≤2 sec |
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精准度 |
≤±1% FS |
≤±1% FS |
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重复精度 |
±0.25% FS |
±0.25% FS |
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输入/输出信号 |
0~5 Vdc |
0~5 Vdc OR 4~20 mA |
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供电电源 |
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
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耐压 |
≤70 bar |
≤70 bar |
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工作环境温度 |
0~ |
0~ |
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漏率 |
1*10E-9 atm cc/sec |
1*10E-9 atm cc/sec |
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使用范围 |
2 ~ 100% |
2 ~ 100% |
