X射线荧光法光谱涂镀层测厚仪FISCHERSCOPE® X-RAY 237
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FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM® 237
X射线荧光光谱仪,采用手动或自动方式,测量和分析印刷线路板、电气元件及大规模生产的零部件上的镀层。
FISCHERSCOPE X-RAY
简介:
FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM®是一款应用于广泛的能量色散型X射线荧光光谱仪,它是从大众认可的FISCHERSCOPE X-RAY XDLM-C4型仪器上发展而来的。与上一代相类似,它尤其适合无损测量镀层厚度及材料分析,同时还能全自动测量大规模生产的零部件及印刷线路板。
比例接收器能实现高计数率,这样就可以进行高精度测量。为了使每次测量都能在最优的条件下进行,仪器配备了可电动调整的多个准直器及基本滤片。
由于采用了基本参数法,无论是镀层系统还是固体和液体样品,都能在没有标准片的情况下进行准确分析和测量。最多可同时测量的从氯(17)到铀(92)中的24种元素。
XDLM型X射线光谱仪有着良好的长期稳定性,这样就不需要经常校准仪器了。
XDLM系列仪器专门是为测量分析极薄镀层和超小含量而设计。仪器配备高速可编程X/Y平台,它是质量控制和生产监控的自动测量过程的最合适的测量仪器。
典型的应用领域有:
测量大规模生产的零部件
测量微小区域上的薄镀层
测量电子工业或半导体工业中的功能性镀层
全自动测量,如测量印刷线路板
设计理念
FISCHERSCOPE X-RAY XDLM设计为界面友好的台式测量仪器系列。它们都有可调的Z轴升降系统,但是样品平台不同。XDLM231型的载物台为固定式平台。
XDLM232型配有可手动操控的X/Y平台。XDLM237型则配备了马达驱动的X/Y工作台。当保护门开启时,工作台会自动移到放置样品的位置。所有型号都配备了激光点,可辅助定位并快读对准测量位置。通过视频窗口,还可以实时观察视频摄像头测量过程和进度。位置的精确微调可以直接手动调整仪器或摇杆,或通过操作鼠标和键盘来实现。
所有的操作,测量数据的计算,以及测量数据报表的清晰显示都是通过强大而界面友好的WinFTM? 软件在电脑上完成的。
XDLM型光谱仪是安全而保护全面的测量仪器,型式许可符合德国“DeutscheR?ntgenverordnung-R?V”法规规定。
通用规范
用途:能量色散X射线荧光光谱仪(EDXRF)用于测量镀层和微小结构,分析合金和微量组分。
元素范围:最多同时测量从氯(CI17)到铀(U92)之间的24种元素
设计理念:台式仪器,测量门向上开启
马达驱动的可更换的准直器和基本滤片
视频摄像头和激光点定位测量点
Z轴电调,可编程
测量方向:从上到下
X射线源
X射线源:带铍窗口的微聚焦钨管
高压:三种高压:30kV,40 kV,50 kV,可调整
孔径(准直器):4个可切换准直器:圆形¢0.1mm;¢0.2mm;0.05×0.05mm方形0.05×0.05mm(可按要求定制其它规格)
基本滤片:3种可更改的基本滤片(标准配置:镍,铝,无)
测量点:取决于测量距离及使用的准直器的大小,实际的测量点大小与视频窗口中显示的一致。最小的测量点大小约为¢0.09×0.09mm
测量距离,(如腔体内部测量):20-80mm,使用专利保护的DCM(测量距离补偿法)功能
测量距离为0-20mm时,为已校准范围
测量距离为20-80mm时,为非校准范围
X射线探测器
X射线接收器:比例接收器
样品定位
视频显示系统:高分辨CCD彩色摄像头,用于查看测量位置
手动调焦或自动聚焦
十字线刻度和测量点大小经过校准
测量区域的LED照明亮度可调节
激光点用于精确定位样品
放大倍数:20x-180x(光学变焦:20x-45x;数字变焦:1x,2x,3x,4x)
样品台
电气参数
仪器规格
环境条件要求
计算系统
执行标准
订购号
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