X射线荧光法光谱涂镀层测厚仪FISCHERSCOPE® X-RAY 237

FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM® 237

 

　　X射线荧光光谱仪，采用手动或自动方式，测量和分析印刷线路板、电气元件及大规模生产的零部件上的镀层。

 

FISCHERSCOPE X-RAY

 

简介：

 

　　FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM®是一款应用于广泛的能量色散型X射线荧光光谱仪，它是从大众认可的FISCHERSCOPE X-RAY XDLM-C4型仪器上发展而来的。与上一代相类似，它尤其适合无损测量镀层厚度及材料分析，同时还能全自动测量大规模生产的零部件及印刷线路板。

 

　　比例接收器能实现高计数率，这样就可以进行高精度测量。为了使每次测量都能在最优的条件下进行，仪器配备了可电动调整的多个准直器及基本滤片。

 

　　由于采用了基本参数法，无论是镀层系统还是固体和液体样品，都能在没有标准片的情况下进行准确分析和测量。最多可同时测量的从氯（17）到铀（92）中的24种元素。

 

　　XDLM型X射线光谱仪有着良好的长期稳定性，这样就不需要经常校准仪器了。

 

　　XDLM系列仪器专门是为测量分析极薄镀层和超小含量而设计。仪器配备高速可编程X/Y平台，它是质量控制和生产监控的自动测量过程的最合适的测量仪器。

 

典型的应用领域有：

 

　　测量大规模生产的零部件

 

　　测量微小区域上的薄镀层

 

　　测量电子工业或半导体工业中的功能性镀层

 

　　全自动测量，如测量印刷线路板

 

设计理念

 

　　FISCHERSCOPE X-RAY XDLM设计为界面友好的台式测量仪器系列。它们都有可调的Z轴升降系统，但是样品平台不同。XDLM231型的载物台为固定式平台。

 

　　XDLM232型配有可手动操控的X/Y平台。XDLM237型则配备了马达驱动的X/Y工作台。当保护门开启时，工作台会自动移到放置样品的位置。所有型号都配备了激光点，可辅助定位并快读对准测量位置。通过视频窗口，还可以实时观察视频摄像头测量过程和进度。位置的精确微调可以直接手动调整仪器或摇杆，或通过操作鼠标和键盘来实现。

 

　　所有的操作，测量数据的计算，以及测量数据报表的清晰显示都是通过强大而界面友好的WinFTM? 软件在电脑上完成的。

 

　　XDLM型光谱仪是安全而保护全面的测量仪器，型式许可符合德国“DeutscheR?ntgenverordnung-R?V”法规规定。

 

通用规范

 

　　用途：能量色散X射线荧光光谱仪（EDXRF）用于测量镀层和微小结构，分析合金和微量组分。

 

　　元素范围：最多同时测量从氯（CI17）到铀（U92）之间的24种元素

 

　　设计理念：台式仪器，测量门向上开启

 

　　马达驱动的可更换的准直器和基本滤片

 

　　视频摄像头和激光点定位测量点

 

　　Z轴电调，可编程

 

　　测量方向：从上到下

 

X射线源

 

　　X射线源：带铍窗口的微聚焦钨管

 

　　高压：三种高压：30kV，40 kV，50 kV，可调整

 

　　孔径（准直器）：4个可切换准直器：圆形￠0.1mm；￠0.2mm；0.05×0.05mm方形0.05×0.05mm（可按要求定制其它规格）

 

　　基本滤片：3种可更改的基本滤片（标准配置：镍，铝，无）

 

　　测量点：取决于测量距离及使用的准直器的大小，实际的测量点大小与视频窗口中显示的一致。最小的测量点大小约为￠0.09×0.09mm

 

　　测量距离，（如腔体内部测量）：20-80mm，使用专利保护的DCM（测量距离补偿法）功能

 

　　测量距离为0-20mm时，为已校准范围

 

　　测量距离为20-80mm时，为非校准范围

 

X射线探测器

 

　　X射线接收器：比例接收器

 

样品定位

 

　　视频显示系统：高分辨CCD彩色摄像头，用于查看测量位置

 

　　手动调焦或自动聚焦

 

　　十字线刻度和测量点大小经过校准

 

　　测量区域的LED照明亮度可调节

 

　　激光点用于精确定位样品

 

　　放大倍数：20x-180x（光学变焦：20x-45x；数字变焦：1x，2x，3x，4x）

 

样品台

样品台	XDLM237
设计	马达驱动可编程X/Y平台
最大移动范围	255×235mm
X/Y平台移动速度	≤80mm/s
X/Y平台移动重复精度	≤0.01mm（单向）
Z轴移动范围	140mm
可用样品放置区域	300×350mm
样品最大重量	5kg，降低精度可达20kg
样品最大高度	140mm

电气参数

电压，频率	AC 115V或AC 230V 50/60Hz
功率	最大为120W（不包括计算机）
保护等级	IP40

仪器规格

外部尺寸	宽×深×高（mm）：570×760×650
重量	约120kg
内部测量室尺寸	宽×深×高（mm）：460×495×146

环境条件要求

操作温度	10℃-40℃/50℉-104℉
存储或运输时温度	0℃-50℃/32℉-122℉
空气相对湿度	≤95%，无结露

计算系统

计算机	带扩展卡的计算机系统
软件	菲希尔WinFTM® 软件

执行标准

CE合格标准	EN61010
X射线标准	DIN ISO 3497和ASTM B 568
型式许可	安全而保护全面的测量仪器，型式许可符合德国Deutsche Rontgenverordnug-RoV”法规规定。

订购号

FISCHERSCOPE X-RAY XDLM 231	604-345
FISCHERSCOPE X-RAY XDLM 232	604-346
FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237	604-347