气体质量流量控制器M3030V/A 10SCCM-30SLPM_湿式气体流量计_长春湿式气体流量计_防腐LML1/2/LMF-1/2_电远传

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气体质量流量控制器M3030V/A 10SCCM-30SLPM

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气体质量流量控制器M3030V/A 10SCCM-30SLPM

产品优势：

　　质量流量检测

　　无需压力和温度校正

　　方便型的流量控制系统

　　高准确度

　　耐高压（90bar）

　　响应速度快

　　高重复精度

技术参数：

Model	M3030V	M3030A
流量范围(N2)	10sccm ~ 30000sccm	5sccm ~ 30000sccm
相应时间	≤2 sec	≤2 sec
精准度	≤±1% FS	≤±1% FS
重复精度	≤±0.25% FS	≤±0.25% FS
输入/输出信号	0~5 Vdc	0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电源	±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA	±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
耐压	≤90 bar	≤90 bar
工作环境温度	0~50 °C	0~50 °C
漏率	1*10E-9 atm cc/sec	1*10E-9 atm cc/sec
使用范围	2 ~ 100%	2 ~ 100%