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气体质量流量控制器M3500V/A 300SLPM-1000SLPM

气体质量流量控制器M3500V/A 300SLPM-1000SLPM
 
产品优势:
 
  质量流量检测
 
  无需压力和温度校正
 
  方便型的流量控制系统
 
  高准确度
 
  耐高压(90bar)
 
  响应速度快
 
  高重复精度
 
技术参数:

Model M3500V M3500A
 流量范围(N2)   300slpm ~ 1000slpm   300slpm ~ 1000slpm
  响应时间   <2 sec   <2 sec
  精准度   ≤±1% FS   ≤±1% FS
 重复精度   ±0.25% FS   ±0.25% FS
  输入/输出信号   0~5 Vdc   0~5 Vdc OR 4~20 mA
  供电电源   ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA   ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
  耐压   <15 bar   <15 bar
  工作环境温度   0~50 °C   0~50 °C
漏率   1*10E-9 atm cc/sec   1*10E-9 atm cc/sec
使用范围   2 ~ 100% for   2 ~ 100%